主要特色：相容于混合式 PXI四象限輸出高精密/量測(cè)解析度(多重檔位)低雜訊輸出高速量測(cè) (100k s/S)高輸出轉(zhuǎn)換率 (Slew Rate)可存取之量測(cè)記錄檔DIO 觸發(fā)位元硬體序列引擎-輸出可程式化可編程阻抗輸出浮接 & 護(hù)衛(wèi) (Guarding) 輸出16 組頻寬選擇主從控制模式LabView / LabWindows & C/C# API 驅(qū)動(dòng)程式軟體控制面板，chroma 52400 series 高精準(zhǔn)電源量測(cè)單元

Applications半導(dǎo)體測(cè)試LED / LD 測(cè)試電池測(cè)試電晶體量測(cè)太陽能電池測(cè)試電動(dòng)車測(cè)試航太電子測(cè)試電力電子測(cè)試感應(yīng)器測(cè)試52400系列電源量測(cè)單元 ( SMU， Source Measurement Unit) 為相容于混合式 PXI 模組設(shè)計(jì)，可安裝于PXI或 PXIe機(jī)箱。52400 SMU 是一款可進(jìn)行高精密電壓/電流供應(yīng)源或負(fù)載模擬，同時(shí)又可精確量測(cè)電流/電壓值之綜合高精密儀器設(shè)備。52400 系列電源量測(cè)單元具備四象限輸出功能，不單精確且具備高速量測(cè)性能。這些特性使得52400 系列適合進(jìn)行精確的參數(shù)量測(cè)，應(yīng)用范圍包含 ICs、發(fā)光二極體 (LEDs)、雷射二極體 (Laser Diodes)、電晶體 (Transistors)、太陽能電池 (Solar cells)、鋰電池 (Batteries) 以及其他半導(dǎo)體元件。為符合各種量測(cè)條件，52400系列電源量測(cè)單元提供16段頻寬控制供使用者選擇穩(wěn)定的控制回路。多重檔位加上18-bit DAC/ADC 提供佳程式、量測(cè)解析度，取樣頻率 (Sampling Rate) 達(dá)到100k s/S，特殊可編程輸出阻抗可提供使用者設(shè)定電池內(nèi)部串聯(lián)電阻，此特性讓52400 系列電源量測(cè)單元成為理想的電池模擬器。標(biāo)準(zhǔn)6線式 (±force, ±sense 與 ±guards ) 接線，專門針對(duì)行動(dòng)裝置 IC 與感應(yīng)器測(cè)試等類型之低電流量測(cè)應(yīng)用，可防止任何泄漏電流 (Leakage Current) ，并降低量測(cè)時(shí)間 (Settling Time)， 大幅提高量測(cè)精度及速度。52400 系列電源量測(cè)單元內(nèi)建硬體時(shí)序引擎， 使用時(shí)序 (deterministic timing) 控制每個(gè)電源量測(cè)單元，即使未與電腦連接使用，量測(cè)程序仍可正常執(zhí)行；時(shí)序引擎內(nèi)建 32k 讀值儲(chǔ)存記憶體，可同步化進(jìn)行數(shù)個(gè)模組卡片的量測(cè)程序，并確保無任何輸出及量測(cè)之時(shí)間延遲。52400 系列電源量測(cè)單元提供 C/C# 與 LabView /LabWindows 應(yīng)用程式介面 (APIs) 及軟體控制面板，加上模組卡背面的接頭，相容于PXI 與 PXIe機(jī)箱，提供客戶工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 PXI 或 PXIe 進(jìn)行系統(tǒng)整合，執(zhí)行各種測(cè)試應(yīng)用。四象限輸出52400 系列電源量測(cè)單元皆設(shè)計(jì)為四象限輸出操作 (Four-Quadrant operation) ，可供應(yīng)電壓/電流源或模擬負(fù)載 (Load Simulation)，當(dāng)模擬負(fù)載時(shí)[Sink Mode ; II、Ⅳ 象限]，PXI機(jī)箱對(duì)于每個(gè)插槽有 20W的標(biāo)準(zhǔn)散熱限制，而對(duì)高功率模組，此散熱限制則會(huì)造成不對(duì)稱之象限輸出范圍。下列圖示分別為52400系列 電源量測(cè)單元四象限輸出圖示:FOUR QUADRANT OPERATION 控制頻寬選擇為縮短測(cè)試時(shí)間，52400 系列電源量測(cè)單元皆設(shè)計(jì)為快速反 應(yīng)、高速電壓與電流輸出。然而，待測(cè)物 (DUT) 的阻抗、治 具或電源線都有可能成為整個(gè)控制回路在電壓或電流輸出模 式下不穩(wěn)定的潛在因素。一個(gè)不穩(wěn)定的控制回路可能造成過 飽和震蕩，甚至損壞待測(cè)物。因此，使用者可能需要在測(cè)試 治具中增加電容器，讓系統(tǒng)重新獲得穩(wěn)定。52400系列電源量測(cè)單元提供使用者 16 個(gè)控制頻寬選擇，此 功能可免去對(duì)待測(cè)物的控制電路增加電容之困擾。此設(shè)定可 做為測(cè)試程式參數(shù)的一部分，頻寬選項(xiàng)的選擇也可隨待測(cè)物 做相對(duì)改變。 SMU Output Waveform under Different Control Scene 硬體時(shí)序引擎52400系列電源量測(cè)單元硬體序列引擎是一功能強(qiáng)大工具，此工具 可以預(yù)先設(shè)定程式指令，讓儀器按步驟執(zhí)行指令，即使未與電腦連 接使用，量測(cè)程序仍可執(zhí)行，同時(shí)確保輸出及量測(cè)上無任何時(shí)間延 遲。以半導(dǎo)體測(cè)試為例，量測(cè)速度與時(shí)序控制非常重要，此時(shí)使用 時(shí)序引擎功能即可達(dá)到佳測(cè)試效能。此模式中，一旦儀器接收到觸發(fā)訊號(hào)，硬體將逐行執(zhí)行在時(shí)序表中 的指令，右圖為軟體控制面板中之時(shí)序引擎設(shè)定螢?zāi)划嬅妗?strong>chroma 52400 series 高精準(zhǔn)電源量測(cè)單元

低電流量測(cè)技術(shù)護(hù)衛(wèi)輸出 (Guarding) 的應(yīng)用在低電流 (< 奈安) 量測(cè)時(shí)是一項(xiàng)很重要的技術(shù)。護(hù)衛(wèi)輸出可以避免漏電流的問題，并降低量測(cè)穩(wěn)定時(shí)間，此輸出可保 持與主輸出 (Force) 為同電位，如此在護(hù)衛(wèi)輸出與主輸出間不會(huì)有電流產(chǎn)生。護(hù)衛(wèi)輸出同時(shí)也消除了電源量測(cè)單元與待測(cè)體之間導(dǎo)線的電容，使得 量測(cè)變得快速且精準(zhǔn)。GUARDING FOR LOW CURRENT APPLICATION 主從控制模式52400 系列電源量測(cè)單元支援主從輸出模式 (Master/Slave operation) ， 在供電壓-測(cè)電流 (FVMI) 模式下，需要較高電流時(shí)，可發(fā)揮佳彈性化 應(yīng)用，為達(dá)到模組間電流共享目的，52400 系列電源量測(cè)單元可支援 類似型號(hào)的通道并聯(lián)，形成較高電流/功率輸出。電流共享是將其中一通道在供電壓-測(cè)電流 (FVMI) 模式下設(shè)為主控單元 (Master)，其他通道則需設(shè)為供電流-測(cè)電壓 (FIMV) 模式，主控單元的 輸出電壓值設(shè)為量測(cè)應(yīng)用需要的電壓值，而其電流值為其他單元在供 電流-測(cè)電壓模式下之設(shè)定電流。右圖為在主從控制控模式下，單元并聯(lián) 方式的示意圖。 MASTER/SLAVE OPERATION 軟體控制面板當(dāng)52400 系列電源量測(cè)單元標(biāo)準(zhǔn)配件中提供軟體控制面板 (Soft Front Panel) 讓使用者執(zhí)行驗(yàn)證測(cè)試與除錯(cuò)功能。此軟體控制面 板具有圖形使用者介面 (GUI)，方便使用者設(shè)定輸出模式、范圍 與輸出值；同時(shí)，量測(cè)到的電壓或電流讀值將顯示在畫面上供使 用者讀取，52400 系列軟體控制面板亦可同時(shí)控制兩個(gè)通道的輸 出與量測(cè)值。52400 系列軟體控制面板同時(shí)包含硬體序列引擎的設(shè)定功能，在 上一頁中有詳述，使用者可儲(chǔ)存多個(gè)預(yù)先定義好的程式指令于電 腦中，日后即可依照這些程式指令做為多種變化的測(cè)試應(yīng)用。 VERSATILE SOFT FRONT PANEL 應(yīng)用范例半導(dǎo)體測(cè)試應(yīng)用中的電池模擬裝置電源 (Device Power Supply; DPS) 可提供電壓用以驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體 IC。隨著行動(dòng)通訊的普及，裝置電源可以來自 AC/DC 配接器或鋰電池，測(cè)試電源 管理裝置需要?jiǎng)討B(tài)范圍，不論ICs 的峰值電流或微小電流，52400 系列電源量測(cè)單元均可在各種情況下，精準(zhǔn)的提供或量測(cè)電流，因此，在輸 入電流動(dòng)態(tài)范圍下，不僅需要快速，同時(shí)更需要精確的量測(cè)。為符合此需求，52400 系列電源量測(cè)單元提供了10 個(gè)電流量測(cè) 檔位，以及 100k s/S 的取樣頻率，確保瞬間 (burst) 電流及穩(wěn)態(tài) (quasi-state) 電流高速且精確之量測(cè)。電池模擬應(yīng)用中，52400 系列電源量測(cè)單元提供的阻抗特性，可 產(chǎn)生真實(shí)電池應(yīng)用中由電池內(nèi)部的阻抗所造成的電壓瞬時(shí)跌落 (Voltage Dip)。當(dāng)待測(cè)物 (DUT) 被量測(cè)的電壓值呈現(xiàn)階梯波的輸出 形式，此現(xiàn)象是明顯的證據(jù)。 DPS & Battery Simulation for Semiconductor Test電晶體量測(cè)I-V (電流-電壓) 特性曲線可做為場(chǎng)效電晶體量測(cè)的關(guān)鍵性指標(biāo)。 I-V 特性曲線的量測(cè)包括閘極泄漏 (Gate leakage)、崩潰電壓 ( Breakdown voltage) 與汲極電流 (Drain current) 等。為確保正確 的量測(cè)結(jié)果，各項(xiàng)量測(cè)參數(shù)需同時(shí)取得， 透過52400系列電源量 測(cè)單元同步量測(cè)功能，可供使用者快速且精確量測(cè)到這些重要參 數(shù)。如右圖所示，52400 系列電源量測(cè)單元通道 1 的輸出端 Force Hi (+Force) 連接到 MOSFET 的閘極，電源量測(cè)單元通道 2 的輸出端 +Force 則連接到 MOSFET 的汲極。MOSFET 的源極則與電源量測(cè) 單元通道 1 與通道 2 的 Force Lo (-Force) 端點(diǎn)連接。改變各通道 之電流與電壓的輸出值，即可掃描繪出待測(cè)物之各項(xiàng) I-V 特性曲 線圖。發(fā)光二極體/雷射二極體量測(cè)諸如發(fā)光二極體 (LED) 或雷射二極體 (Laser Diode) 等之發(fā)光元件，需要電流/電壓源、負(fù)載、光功率量測(cè)，當(dāng)執(zhí)行 LIV (Light-Current-Voltage) 參數(shù)量 測(cè)與量測(cè)二極體的反向特性，52400 系列電源量測(cè)單元可程式化為電流源模式，用以驅(qū)動(dòng)待測(cè)物，進(jìn)行正向特性量測(cè)，也可設(shè)成電壓源模式，進(jìn) 行反向特性量測(cè)。進(jìn)行光輸出功率量測(cè)時(shí)需要另一電源量測(cè)單元通道。光電二極體 (Photo Diode) 通常用來當(dāng)作光輸出功率的感應(yīng)接收器，光功率與光 電二極體的短路電流 (Short Circuit Current) 成正比關(guān)系，若無法加 偏壓至光電二極體使其成為零伏，量測(cè)精確度將受影響， 因?yàn)檎?偏壓會(huì)讓光二極體產(chǎn)生較高溫度，此影響更甚于短路電流；52400 系列另一重要特性在于可以偏壓至負(fù)電壓以補(bǔ)償導(dǎo)線所造成的電壓 降，相較于使用分流電阻進(jìn)行電流量測(cè)造成偏壓，52400 系列電源 量測(cè)單元可確保量測(cè)到光電二極體之真實(shí)短路電流。52400 系列電源量測(cè)單元雙輸入通道設(shè)計(jì)及同步量測(cè)功能可取得所 有量測(cè)參數(shù)，如有多個(gè)待測(cè)物需同時(shí)進(jìn)行平行測(cè)試，52400 系列電 源量測(cè)單元之小型 PXI 設(shè)計(jì)可提供高之通道密度。 Typical LIV test setup for LEDLED/Laser Diode Test 太陽能電池量測(cè)太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)仍屬二極體結(jié)構(gòu)，因此 I-V 特性曲線是其關(guān)鍵特性。利用照光時(shí)的I-V特性曲線，可用來導(dǎo)出許多重要的太陽能電池的參 數(shù)，反向電壓可用來進(jìn)行反向太陽能電池性能的測(cè)試，不同于一般二極體的測(cè)試，分流電阻 (Shunt Resistor) 與串聯(lián)電阻是太陽能電池的重要性能 指數(shù)。52400 系列電源量測(cè)單元具有可操作于照光時(shí)的正向偏壓負(fù)載及反向偏壓輸出特性， 此四象限輸出特性使得電源量測(cè)單元成為理想的太陽能電池 測(cè)試儀器。一般太陽光模擬器之輻射光強(qiáng)會(huì)有瞬態(tài)的不穩(wěn)定，使用輻射光監(jiān)視器 (Irradiance Monitor) 連接 52400 系列電源量測(cè)單元的單一通道，依照 IEC-60904-1 所定義方式來修正太陽能電池的光電流讀值至 1 sun (100mW/m2) 標(biāo)準(zhǔn)光強(qiáng)狀態(tài)，透過電源量測(cè)單元提供電壓與電流，進(jìn)行在同一通道 內(nèi)與跨通道間的同步量測(cè)，可取得精準(zhǔn)可靠之測(cè)試結(jié)果。

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Agilent 83494A 單模時(shí)鐘恢復(fù)模塊

Agilent 83495A 時(shí)鐘恢復(fù)模塊

Agilent 83496A 光電時(shí)鐘恢復(fù)模塊

Agilent 86100A 光示波器

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Agilent 86103A 光電模塊

Agilent 86103B 光電模塊

Agilent 86105A 光電模塊

Agilent 86105B 光電模塊

Agilent 86106B 光電模塊

Agilent 86107A 精密時(shí)基參考模塊

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Anritsu 69347B 信號(hào)源

Anritsu MN9610B光衰減器

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CVI Melles Griot 05-LHP-211-1 激光器

Ericsson FSU-975 光纖熔接機(jī)

Exfo IQS-3150 可變衰減器

EXFO WA-1650 光波長計(jì)

HP 8153A 光功率計(jì)

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HP 81551MM 點(diǎn)光源模塊

HP 83540A 插件信號(hào)源

HP 8595E 頻譜分析儀

IFR GPS-101定位系統(tǒng)模擬器

Jdsu HA9 光衰減器

JDSU OLP-55 光功率計(jì)

Keithley 7001半導(dǎo)體開關(guān)系統(tǒng)

Keithley 2001A 數(shù)字多用表

Keithley 2400 數(shù)字源表

Keithley 2400-C 數(shù)字源表

Keithley 2500 數(shù)字源表

Keithley 2502 數(shù)字源表

KEITHLEY 6221 電流源表

Keysight 11708A 衰減器墊

Keysight 3458A 數(shù)字多用表

Keysight 34903A GP開關(guān)模塊

Keysight 81570A 可變光衰減器模塊

Keysight 81618A 接口模塊

Keysight 81623B 鍺光功率探頭

Keysight 81630B 大功率光傳感器

Keysight 81634B 低偏振相關(guān)光功率傳感器

Keysight 81636B 光功率傳感器

Keysight 8164B 光波測(cè)量系統(tǒng)主機(jī)

Keysight 82357B GPIB 卡

Keysight 86100D 寬帶寬示波器主機(jī)

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Keysight 86105D 光電模塊

Keysight E3631A 三路輸出電源

Keysight J7231B 抖動(dòng)通信性能分析儀

Keysight N5181A 射頻模擬信號(hào)發(fā)生器

Keysight N5980A 比特誤碼率測(cè)試儀

Keysight N7744A 多端口光功率計(jì)

Keysight N7748A 高性能光功率計(jì)

Newport 818-IG高性能光電二極管傳感器

Newport 918-IG 高性能光電二極管傳感器

Newport 918-ir 高性能光電二極管傳感器

NI PCI GPIB小卡

NI PXI-1031 板卡

Photom EP-712 光功率計(jì)

Picometrix PT-12B 光電轉(zhuǎn)換芯片

R&S FSP3 頻譜分析儀

R&S NRPZ51 射頻功率計(jì)

R&S NRPZ55 射頻功率計(jì)

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Tektronix DPP125B 誤碼儀

Tektronix 80C02 光采樣模塊

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Tektronix DSA8200 采樣示波器

Tektronix DSA8300 數(shù)字采樣示波器

USHIO UXM-Q256BY點(diǎn)光源

YOKOGAWA AQ2200-421 單槽型光開關(guān)

YOKOGAWA AQ2201 幀控制器主機(jī)

光示波器/眼圖儀—Agilent 86100A, Agilent 86100B, Agilent 86100C, Agilent 86100D,Agilent 86105A, Agilent 86105B, Agilent 86116C, Agilent 86105D, Agilent 86103A, Agilent 86106B, Agilent 86103B, Agilent 83493A, Agilent 83496A, Agilent 86118A, Agilent 54754A，Tektronix DSA 8300，Tektronix DSA 8200，Tektronix 80C08，Tektronix 80C15，Tektronix 80C07, Tektronix 82A04，Tektronix 80E04,Anritsu MP2100B光譜分析：Agilent 86142B, Agilent 86146B,Agilent 86140B,Anritsu MS9740A,Anritsu MS 9710C,Anritsu MS9710B,Yokogawa 6317B,Yokogawa:6370D波長計(jì)：Agilent 86122A,Agilent 86120B,Agilent 86120C,EXFO WA1600,EXFO WA1650,EXFO WA1100光衰減器：Agilent 8156A,Agilent 8157A，Agilent 81570A,Agilent 81571A,Agilent 81576A,Agilent 81577A，Agilent 81567A,JDSU HA-9光萬用表:Agilent 8164A,Agilent 8164B,Agilent 8163A,Agilent 8163B,Agilent 8153A,Agilent 8166B,Agilent N7744A,Agilent N7745A,Agilent N7748A,Agilent 81632B,Agilent 81633A,Agilent 81634A,Agilent 81634B,Agilent 81635A,Agilent 81636B,Agilent 86137B,A